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原子熒光光譜儀(Atomic fluorescence spectrometer)是一種通過測量待測元素的原子蒸氣在輻射能激發下產生的熒光發射強度以確定待測元素含量的儀器。
該儀器的分析方法如下：物質吸收電磁輻射后受到激發，受激原子或分子以輻射去活化，再發射波長與激發輻射波長相同或不同的輻射，當激發光源停止輻照試樣之后，再發射過程立即停止，這種再發射的光稱為熒光；若激發光源停止輻照試樣之后，再發射過程還延續一段時間，這種再發射的光稱為磷光，而熒光和磷光都是光致發光。

原子熒光光譜分析法具有很高的靈敏度，校正曲線的線性范圍寬，能進行多元素同時測定。這些優點使得它在冶金、地質、石油、農業、生物醫學、地球化學、材料科學、環境科學等各個領域內獲得了相當廣泛的應用。

原子熒光光譜法的優點：
（1）有較低的檢出限，靈敏度高。特別對Cd、Zn等元素有相當低的檢出限，Cd可達0．001ng/cm、Zn為0.04ng/cm現已有2O多種元素低于原子吸收光譜法的檢出限。由于原子熒光的輻射強度與激發光源成比例，采用新的高強度光源可進一步降低其檢出限。
（2）干擾較少，譜線比較簡單，采用一些裝置，可以制成非色散原子熒光分析儀。這種儀器結構簡單，價格便宜。
（3）分析校準曲線線性范圍寬，可達3～5個數量級。
（4）由于原子熒光是向空間各個方向發射的，比較容易制作多道儀器，因而能實現多元素同時測定。

目前，國產原子熒光譜儀占據國內近90% 的市場，是國產分析儀器的驕傲。在儀器研發方面，我國科學工作者取得了許多具有自主知識產權的成就，眾多儀器制造商及個人發明了多項創新專利和研究成果。